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准分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体，产生的准分子激光波长为172nm。

1975年包括美国政府的海1军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心，Avco Everett研究实验室，成都准分子预混气，和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。

1979年西德Lambda Physik公司生产出第1台商业用准分子激光器。

迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。

产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)

其他名称：氟化ya激光气体（193nm）；氟化ke激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）

工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，准分子预混气公司，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的前沿。作为当今较有效、较可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效地1推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医1疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。

准分子是一种半衰期非常短暂的分子状态，准分子预混气厂家，由同种原子或者异种原子组合而成。其中一种原子的价电子层必须是全满的（比如稀有气体）。如果两种原子都处于基态，它们是不能形成化学键的。但如果价电子全满的那个原子处于激发态，它们之间就能够暂时形成化学键。尽管这种化学键的寿命往往非常短，只在纳秒的量级。准分子可以通过自发辐射或受激辐射，释放出光子回到基态，基态的分子更加不稳定，经过几个皮秒的时间，衰变成两个未成键的原子。

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